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PVD工艺里DLC涂层是一种什么样碳薄膜

作者:admin 来源: 发表日期:2020/3/30 22:54:45 浏览量:174

DLC是英文“DIAMOND-LIKE  CARBON”一词的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损一级良好的真空摩擦学特性,很适合作为耐磨涂层,从而引起了使用上的关注和重视。

目前,制备DLC薄膜的方法有很多,不同的制备方法所用的碳源以及到达基体表面的离子能量不同,沉积的DLC膜层结构和性能也不同,存在着很大差别,摩擦学性能也不相同。

DLC碳膜的稳定性,耐磨性和低摩擦性能,使其在各领域使用比较广泛,越来越多的行业都在使用DLC膜,用于零件、光学、精密零件、高科技领域的耐磨超硬材料表面上。

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