PVD是Physieal Vaper Depeitien(物理气和沉积工艺)的缩写是指在真空条件下。采用低电压，大电流的批电技术，药周气体旗电使靶村蒸发丹發被蒸发物精与气体都发生电离。利用电场的加造作同。是被蒸发物质及其反应物沉积在工件表面上。
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