在所有情况下，涂层增加了零件的厚度（等同于涂层厚度），鉴于材料性能，加工温度决定零件形状是否受到影响。cvd涂层加工温度一般在800℃~1000℃。特定材料在cvd涂层后将需要重新热处理。pvd涂层的加工温度一般在250℃~600℃，大多数零件能保证原由的尺寸公差。在有些情况下，pvd涂层在温度低于70℃的情况下，沉积避免损坏有塑料制成的零件。pacvd过程在温度低于700℃情况下进行，因此尺寸精度和性能一般不会受影响。